متخصصان یکی از شرکت‌های مستقر در پارک علم و فناوری دانشگاه تهران موفق به طراحی و ساخت سامانه‌های تمیزکننده پلاسمایی، رشد نانو لوله‌های کربنی و زدایش عمیق سیلیکون با استفاده از یون‌های واکنشگر شدند.
به گزارش خبرگزاری صدا و سیما، مدیرعامل این شرکت گفت: پژوهشگران این مجموعه روی سامانه‌هایی کار می‌کنند که بیشتر برای آزمایشگاه‌های ریزالکترونیکی کاربرد دارد. یکی از این محصولات سامانه رشد نانولوله‌های کربنی با استفاده از پلاسمای جریان مستقیم در فشار پایین (DC-PECVD) است. این سامانه که دارای منبع تغذیه ولتاژ بالا (برای تولید پلاسما)، مکنده‌های خلا مکانیکی (برای ایجاد فشار پایین)، کوره‌های کوارتز (برای دمای بالا و کنترل کاملا خودکار) است، در بسیاری از آزمایشگاه‌ها و پژوهشگاه‌های تحقیقاتی مرتبط با نانو الکترونیک و افزاره‌های نیمه هادی کاربرد دارد.
علی اخوان فراهانی افزود: نانولوله‌های کربنی به خواص ویژه خود، کاربرد‌های بسیار زیادی در ساخت حسگر‌ها و قطعات الکترونیک دارند و در قطعات انرژی و زیست الکترونیک نیز مورد توجه روز افزون هستند. هم اکنون امکان رشد گرافن و زدایش اکسید به این سامانه افزوده شده است؛ گرافن از مهمترین مواد دو بعدی است که می‌تواند در ساخت قطعات الکترونیکی بسیار نقش آفرین باشد.
این پژوهشگر بیان کرد: یکی دیگر از محصولات ما تولید سامانه زدایش عمیق سیلیکون با استفاده از یون‌های واکنشگر است. این سامانه شامل محفظه خلا، مکنده‌های مکانیکی، منبع توان فرکانس رادیویی (برای ایجاد پلاسما)، تنظیم کننده گاز ورودی و برنامه کاملا خودکار (برای کاربر) است. این سامانه دارای یک فرآینده جدید و بهبود یافته نسبت به نمونه‌های خارجی است که در بسیاری از آزمایشگاه‌ها و پژوهشگاه‌های تحقیقاتی مرتبط با نانوالکترونیک و افزاره‌های نیمه هادی کاربرد دارد.
آقای اخوان فراهانی ادامه داد: سامانه تمیز کننده پلاسمایی برای سوزاندن آلاینده‌های روی سطح نمونه‌های ریز الکترونیک در بخش چاپ از دیگر محصولات این مجموعه است.
اخوان فراهانی تاکید کرد: فرایند ساخت این سامانه‌ها نسبت به نمونه‌های مشابه خارجی تفاوت دارد و از نظر قیمتی نیز بسیار مقرون به صرفه‌تر هستند.
(پلاسما به عنوان حالت چهارم ماده شناخته می‌شود. حالت‌های مختلف ماده از یک جامد شروع می‌شود. ماده ذوب، سپس برای تشکیل گاز، بخار می‌شود و در نهایت، برای تشکیل مایع و با دریافت انرژی اگر حرارت دادن ادامه داشته باشد، دما افزایش می‌یابد و اتم‌ها به الکترون‌ها و یون‌های مثبت شکسته می‌شود که در نتیجه حالت چهارم ماده یا همان پلاسما ایجاد می‌شود.)