تولید دستگاه تبخیر حرارتی برای ساخت لایه‌های نازک از فلزات

به گزارش خبرگزاری صدا و سیما به نقل از پایگاه خبری فناوری نانو ،از این دستگاه برای حوزه‌های نانو و میکروالکترونیک می‌توان استفاده کرد و در بخش سلول‌های خورشیدی، حسگر‌های لایه نازک و لایه‌های نوری و اپتیکی قابل استفاده است.

این دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از ۱۰ دقیقه به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه‌نشانی را از سه منبع تبخیر (بوته یا بسکت) مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه‌های مختلف نماید. این ابزار، قابلیت لایه‌نشانی از سه منبع تبخیر به‌صورت همزمان را داشته و همچنین امکان ایجاد لایه‌های آلیاژی را دارد.DTT با دارا بودن امکان انتخاب منبع تبخیر (بوته – بسکت) مورد نظر در حین لایه‌نشانی، دارای قابلیت ساخت چندلایه‌ای است.

این دستگاه مجهز به یک نمایشگر لمسی ۷ اینچی تمام رنگی بوده که تمام فرایند‌های کنترل دستگاه از طریق آن انجام می‌شود. با توجه به کاربری ساده نرم‌افزار سامانه ، کاربر می‌تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه‌نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به‌صورت نمودار و یا دیتا مشاهده کند  همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به ۳۰۰ لایه‌نشانی آخر را دارا است.

این دستگاه لایه‌نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر حرارتی مقاومتی مستقل با بازه طولی ۵ تا ۹ سانتی‌متر است. این منابع به‌صورتی طراحی شده‌اند که یکدیگر را آلوده نمی‌کنند.